포토리소[photo~에 대해서.pptx 파일정보
포토리소[photolithography] – 가공방법 및 적용분야에 대해서.pptx
포토리소[photo~ 적용분야에 대해서 자료설명
포토리소[photolithography] – 가공방법 및 적용분야에 대해서
포토리소[photo~ 적용분야에 대해서 자료의 목차
본문내용 (포토리소[photo~에 대해서.pptx)
_SLIDE_1_
포토리소(Photolithography)
가공방법 및 적용분야에 대해서
_SLIDE_2_
2
1. 개요
1.1 포토리소그래피(Photolithography)란?
원하는 회로설계를 유리판 위에 금속패턴으로 만들어 놓은
마스크(mask)라는 원판에 빛을 쬐어 생기는 그림자를
웨이퍼 상에 전사시켜 복사하는 기술
포토리소(Photolithography)
가공방법 및 적용분야에 대해서
_SLIDE_2_
2
1. 개요
1.1 포토리소그래피(Photolithography)란?
원하는 회로설계를 유리판 위에 금속패턴으로 만들어 놓은
마스크(mask)라는 원판에 빛을 쬐어 생기는 그림자를
웨이퍼 상에 전사시켜 복사하는 기술
Fig. 1. The basic concept of Photolithography.
_SLIDE_3_
3
1.2 포토리소그래피 장비의 기본적 형태
– 광학계에 따른 방식
근접 노광방식(proximity printing)
투영 노광방식(projection printing)
Fig. 2. Schematic diagram of photolithography systems.
💾 다운받기 (클릭)
⭐ ⭐ ⭐